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nXDS干式渦旋真空泵是一種先進(jìn)的真空泵,采用干式渦旋技術(shù),適用于廣泛的真空應(yīng)用,包括科研、工業(yè)和半導(dǎo)體等領(lǐng)域。下面是對(duì)其介紹及工作原理的概述:
干式渦旋真空泵不需要使用潤(rùn)滑劑,避免了傳統(tǒng)渦旋泵中由于油蒸汽和污染物引起的問(wèn)題。
nXDS系列具有效率高、可靠和安靜的特點(diǎn),能夠提供穩(wěn)定的高真空和快速的抽氣速度。
它采用獨(dú)特的渦旋技術(shù),使得泵內(nèi)部的旋轉(zhuǎn)葉輪和固定葉輪之間無(wú)接觸,從而減少磨損和維護(hù)需求。
工作原理:
吸入階段:
當(dāng)真空泵啟動(dòng)時(shí),驅(qū)動(dòng)電機(jī)帶動(dòng)旋轉(zhuǎn)葉輪開(kāi)始旋轉(zhuǎn)。
旋轉(zhuǎn)葉輪的設(shè)計(jì)使得氣體被吸入并向外周轉(zhuǎn)動(dòng)。
氣體被推向泵的出口方向,同時(shí)在泵的軸向方向被擠壓。
壓縮階段:
在壓縮階段,氣體在軸向方向被壓縮。
旋轉(zhuǎn)葉輪的高速旋轉(zhuǎn)產(chǎn)生離心力,將氣體推向固定葉輪。
氣體在旋轉(zhuǎn)葉輪和固定葉輪之間的壓縮腔中被壓縮。
壓縮過(guò)程中,氣體的壓力逐漸增加,同時(shí)體積減小。
排出階段:
壓縮后的氣體進(jìn)一步通過(guò)排氣口被排出。
在排氣口處,真空泵與外部真空系統(tǒng)或容器連接。
排出的氣體被推送到外部環(huán)境或真空系統(tǒng)中,從而形成所需的真空。
干式渦旋真空泵由于其無(wú)油、沒(méi)有污染的特性,在一些對(duì)真空純凈度要求較高的應(yīng)用中得到廣泛應(yīng)用,例如在半導(dǎo)體制造、電子顯微鏡、質(zhì)譜儀和光學(xué)薄膜等領(lǐng)域。
以上就是北京麥迪森科技有限公司提供的nXDS干式渦旋真空泵介紹及工作原理的介紹。