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真空閘閥致動器是指用于控制真空閘閥開關的裝置。致動器通過控制氣體或電磁信號,使真空閘閥開啟或關閉,實現(xiàn)對真空系統(tǒng)中氣流的控制。常見的真空閘閥致動器有以下幾種類型:
手動致動器:需要人工旋轉手柄或推動桿來控制閥門的開閉。
電磁致動器:通過電磁線圈產生磁場,控制閥門的開閉。電磁致動器響應速度快,可以通過電氣控制系統(tǒng)實現(xiàn)自動化控制。
氣動致動器:通過氣體壓力控制閥門的開閉。氣動致動器適用于高真空條件下的閥門控制。
液壓致動器:通過液體壓力控制閥門的開閉。液壓致動器的響應速度較慢,通常用于大型閥門的控制。
機械致動器:通過機械傳動裝置控制閥門的開閉。機械致動器通常適用于需要高扭矩或高精度控制的場合。
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