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在操作真空閘閥時(shí),避免氣體或固體顆粒的吸附和污染是非常重要的,特別是在高真空和超高真空環(huán)境下。以下是一些減少吸附和污染的方法:
凈化氣體源:確保使用純凈的氣體源,以減少在閘閥中引入雜質(zhì)的可能性。使用高純度氣體或者通過(guò)凈化系統(tǒng)來(lái)去除雜質(zhì)。
材料選擇:選擇與您的應(yīng)用相兼容的閥門材料,特別是閥體和密封部件。通常在高真空和超高真空環(huán)境中使用不銹鋼或其他低揮發(fā)性材料,以減少材料的揮發(fā)。
烘烤閥門:在真空系統(tǒng)開始工作之前,可以通過(guò)烘烤閥門來(lái)清除可能吸附在表面的氣體或雜質(zhì)。這可以通過(guò)升高閥門的溫度并進(jìn)行長(zhǎng)時(shí)間的烘烤來(lái)實(shí)現(xiàn)。
清潔和維護(hù):定期清潔和維護(hù)閥門以去除可能積聚在閥門內(nèi)部的顆?;驓埩粑?。這包括清除閥座、密封圈和密封面上的雜質(zhì)。
使用避免吸附的密封技術(shù):在高真空和超高真空應(yīng)用中,采用特殊的金屬密封或焊接技術(shù)可以減少泄漏和防止氣體吸附。
氣室設(shè)計(jì):確保氣室設(shè)計(jì)能夠降低氣體流動(dòng)的阻力,并減少顆粒的滯留。避免死角和盡量保持平滑表面以減少吸附的機(jī)會(huì)。
氣室清潔:定期檢查和清潔氣室內(nèi)部,以去除任何積聚的顆?;蛭廴疚铩?/span>
使用真空保護(hù)套:在不使用閘閥時(shí),可以考慮使用真空保護(hù)套來(lái)遮蓋閥門口,以防止外部顆?;蛭廴疚镞M(jìn)入。
使用避免氣體吸附的潤(rùn)滑劑:如果需要在閥門上使用潤(rùn)滑劑,請(qǐng)選擇專門設(shè)計(jì)用于高真空環(huán)境的低揮發(fā)性潤(rùn)滑劑。
以上就是北京麥迪森科技有限公司分享的真空閘閥操作過(guò)程中如何避免氣體或固體顆粒的吸附和污染。